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美国PIE_Tergeo等离子清洁仪
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美国PIE_Tergeo等离子清洁仪

Tergeo系列台式全自动等离子清洁仪具有清洁、灰化、刻蚀等功能,可用来清洁纳米级样品,去除光刻胶,清洁晶圆和集成电路键合焊盘,进行煤和有机物的灰化,激活聚合物、金属和陶瓷表面官能团,获得表面亲水性,提高键合强度和可印刷性,促进医疗器械生物相容性。可集成浸入式和远程式两种等离子源,既可清洁电镜光阑和TEM样品杆,也可清洁石墨烯、碳纳米管、类金刚石碳和TEM载网多孔碳膜等脆弱的精细样品。
产品型号:
Tergeo/Tergeo-Plus/Tergeo-EM
Tergeo1
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产品描述

Tergeo系列台式等离子清洁

 

Tergeo系列台式全自动等离子清洁仪具有清洁、灰化、刻蚀等功能,可用来清洁纳米级样品,去除光刻胶,清洁晶圆和集成电路键合焊盘,进行煤和有机物的灰化,激活聚合物、金属和陶瓷表面官能团,获得表面亲水性,提高键合强度和可印刷性,促进医疗器械生物相容性。可集成浸入式和远程式两种等离子源,既可清洁电镜光阑和TEM样品杆,也可清洁石墨烯、碳纳米管、类金刚石碳和TEM载网多孔碳膜等脆弱的精细样品。

 

Tergeo系列具有三种型号:

1Tergeo 等离子清洁仪这是一款经济实用的等离子清洁仪。

2Tergeo-Plus大腔室等离子清洁仪这是一款具有大样品室的等离子清洁仪,可清洁宽达150mm的样品。

3Tergeo-EM等离子清洁仪:用于TEM样品清洁以及去除SEM & TEM样品的碳氢污染。

仪器特点:

 Tergeo系列采用独特设计能在一个系统中支持两种清洁模式。

Tergeo-EM标配双等离子源、并且具有清洁TEM样品杆的功能;其余两款

标配浸入式等离子源,用于样品表面清洁、蚀刻、灰化,可选远程式等离

子源用于温和的污染清除及脆弱易损样品的表面活化。

 采用等离子体强度传感器专有技术,实现实时定量测量等离子强度

 13.56MHz射频发生器,自动阻抗匹配调谐,双源版本可脉冲工作

 直观的触摸屏用户界面,可储存20条用户程序,全自动运行

 采用MFC(质量流量控制器)调节的气体输送控制

 高纯石英样品腔室和样品托

推荐应用:

集成电路芯片引线键合和封装前的清洁

清洁TEMSEM样品,去除烃污染

亲水性或疏水表面润湿性等离子处理

增强环氧树脂/胶水粘合强度

 用于清洁光学、激光、通讯用玻璃和光纤头

改善MEMS微流体器件的润湿性

蚀刻光刻胶

 剥除被膜,用于失效分析

隐形眼镜、医用植入物等类型医疗器械的表面处理和激活

实验结果的一致性和可重复性对于科研和生产运行是至关重要的。因此,

我们集成了多种过程控制技术来监测和控制关键参数,如等离子体传感

器、压力传感器和气体输入的自动质量流量控制器。Tergeo等离子清洗

机的操作是全自动的。直观的用户界面,加上7英寸的触摸屏,使本系

仪器的操作像智能板一样简单。嵌入微控制器支持20个可定制的配方

程序Tergeo系列等离子体处理系统采用先进的工艺控制技术,可为不

同用户提供重复的日常运行性能。

Tergeo系列台式等离子蚀刻和表面清系统可用于研究、开发等应用TEM户,请选用我们的Tergeo-EM具有清洁TEM样品杆功能的等离子清洁仪;TEMSEM及其它用也可查看EM-KLEEN远程等离子清洁系统。对于样品杆储存等应用,可选用多用途样品清洁及储存腔室

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